本標準規(guī)定了應用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀測定電子工業(yè)用氣體中金屬元素含量的方法。
本標準適用的電子工業(yè)用氣體種類：氧、氮、氬、氦、氫、氨、氯化氫、硅烷、高純氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亞氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等氣體。
本標準適用的電子工業(yè)用氣體取樣狀態(tài)：氣態(tài)。