本規(guī)范適用于新建、改建和擴(kuò)建的電子工廠的特種氣體系統(tǒng)工程的設(shè)計(jì)、施工和驗(yàn)收，不適用于特種氣體的制取、提純、灌裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、施工和驗(yàn)收。
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