本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了光掩模石英玻璃基板（以下簡(jiǎn)稱(chēng)石英玻璃基板)的術(shù)語(yǔ)和定義、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體集成電路、光通訊、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)、光電器件和發(fā)光二級(jí)管（LED)等光刻工藝中光掩模石英玻璃基板。
地震現(xiàn)場(chǎng)工作 第二部分：建筑物安全…陶管水壓試驗(yàn)方法建筑石膏 凈漿物理性能的測(cè)定多孔陶瓷產(chǎn)品通用技術(shù)條件多孔陶瓷耐酸、堿腐蝕性能試驗(yàn)方法多孔陶瓷滲透率試驗(yàn)方法多孔陶瓷孔道直徑試驗(yàn)方法工程陶瓷抗熱震性試驗(yàn)方法
