本標準規(guī)定了光刻用石英玻璃晶圓（以下簡稱石英玻璃晶圓)的術(shù)語和定義、分類、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸和貯存。本標準適用于半導體集成電路、光通訊、微機電系統(tǒng)（MEMS)、光電器件和發(fā)光二極管（LED)等光刻工藝中用做襯底的石英玻璃晶圓。