本文件規(guī)定了光刻用摻鈦石英玻璃（以下簡稱摻鈦石英玻璃）的要求、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存，描述了相應(yīng)的試驗(yàn)方法。
本文件適用于半導(dǎo)體集成電路光刻反射光學(xué)系統(tǒng)用摻鈦石英玻璃的生產(chǎn)、檢驗(yàn)、交付和驗(yàn)收。
地震現(xiàn)場工作 第二部分：建筑物安全…陶管水壓試驗(yàn)方法建筑石膏 凈漿物理性能的測定多孔陶瓷產(chǎn)品通用技術(shù)條件多孔陶瓷耐酸、堿腐蝕性能試驗(yàn)方法多孔陶瓷滲透率試驗(yàn)方法多孔陶瓷孔道直徑試驗(yàn)方法工程陶瓷抗熱震性試驗(yàn)方法
