本文件規(guī)定了光刻用摻鈦石英玻璃（以下簡(jiǎn)稱(chēng)摻鈦石英玻璃）的要求、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存，描述了相應(yīng)的試驗(yàn)方法。
本文件適用于半導(dǎo)體集成電路光刻反射光學(xué)系統(tǒng)用摻鈦石英玻璃的生產(chǎn)、檢驗(yàn)、交付和驗(yàn)收。