本標準代替GB/T14599—1993《高純氧》和GB/T14605—1993《氧氣中微量氬、氮和氪的測定 氣相色譜法》。
?本標準規(guī)定了純氧、高純氧和超純氧的技術要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸、貯存等。
?本標準適用于空氣分離制取的和水電解制取的高純度氣態(tài)和液態(tài)氧,主要用于標準混合氣的制備、科學研究、集成電路和半導體器件的生產(chǎn)以及其他對氧氣純度要求較高的領域。
?本標準與GB/T14599—1993和GB/T14605—1993比較,主要變化如下:
?——修改了適用范圍,包括了純氧、高純氧和超純氧(GB/T 14599—1993 的第1章;本版的第1章);
?——將GB/T14605—1993修改后合并到本標準的4.3;
?——修改了技術要求(GB/T14599—1993的第3章;本版的第3章);
?——修改了檢驗方法(GB/T14599—1993的第4章;本版的第4章);
純氧、高純氧和超純氧
純氮、高純氮和超純氮
純氪、高純氪和超純氪
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