本部分規(guī)定了采用光腔衰蕩光譜法測(cè)定氣體中微量水分的術(shù)語(yǔ)和定義、方法原理、對(duì)儀器的一般要求、試驗(yàn)步驟、結(jié)果處理和報(bào)告。
本部分適用于含量的體積分?jǐn)?shù)為0.2×10-9~20×10-6的氣體中水分的測(cè)定。不適用于硅烷等遇光照易分解及含有對(duì)水的吸收光譜有干擾的組分的氣體中水分的測(cè)定。