本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了俄歇電子譜儀動能標(biāo)不確定度為3eV 時的校準(zhǔn)方法,用于識別表面常規(guī)元素。另外,還規(guī)定一種用于確定校準(zhǔn)周期的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于直接模式或微分模式的儀器分辨率小于等于0.5%,微分模式調(diào)制幅度的峰峰值為2eV。