本標準規(guī)定了硅外延用三氯氫硅(SiHCl3)的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存、質(zhì)量證明書以及訂貨單 (或合同)內(nèi)容。
本標準適用于以粗三氯氫硅為原料經(jīng)過提純而制得的硅外延用三氯氫硅(以下簡稱產(chǎn)品)。