本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用觸針式輪廓儀法測量玻璃襯底上納米薄膜厚度的原理、儀器要求、試驗(yàn)環(huán)境、要求、步驟及測試報(bào)告等。?本標(biāo)準(zhǔn)適用于玻璃襯底上厚度在10 nm～1 000 nm范圍內(nèi)的納米薄膜厚度測量，且薄膜與襯底之間存在或可刻蝕出臺階。其他硬質(zhì)平面襯底可參考本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。