本文件規(guī)定了電子用砷化氫的技術(shù)要求、采樣、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存，描述了相應(yīng)的試驗(yàn)方法，提供了砷化氫的安全信息。
本文件適用于以砷化鋅為原料提純制得的電子用砷化氫。