本文件規(guī)定了高純氟化銨溶液的分類、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志和隨行文件、包裝、運(yùn)輸和貯存。
本文件適用于高純氟化銨溶液。
注:該產(chǎn)品主要應(yīng)用于太陽能光伏電池、集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗、蝕刻等行業(yè)。
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