本文件規(guī)定了用光腔衰蕩光譜法測(cè)定氣體中微量水分的試驗(yàn)方法，包括原理、試驗(yàn)條件、試劑與材料、儀器設(shè)備、采樣、試驗(yàn)步驟、試驗(yàn)數(shù)據(jù)處理、精密度、質(zhì)量保證和控制、試驗(yàn)報(bào)告等內(nèi)容的具體要求。
本文件適用于氣體中微量及痕量水分含量的測(cè)定，測(cè)定范圍：1.0×10-9（摩爾分?jǐn)?shù)）～20×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）。
本文件不適用于可損壞玻璃鏡面的氣體，例如氟化氫、氟氣；不適用于對(duì)水的吸收光譜有干擾的氣體，例如硅烷、甲烷、鍺烷。
