本標準的目的是制定一套可用于評估掩模缺陷檢查系統(tǒng)靈敏度的測試掩模。這套測試掩模包括：含特制圖形缺陷的測試芯片，以及不含特制圖形缺陷的參考測試芯片。由于測試芯片是由各種單集合而成，所以在本標準中，測試芯片是用單圖形、單圖形中的特制缺陷、以及單的布局來定義的。此外，測試掩模是通過規(guī)定測試芯片的排列來定義的。本標準還講述這套掩模的用法。