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集成電路用鋁腐蝕液

標(biāo) 準(zhǔn) 號： SJ/T 11506-2015
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位： 工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院
發(fā)布日期： 2015-04-30
實(shí)施日期： 2015-10-01
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更新日期： 2021年04月09日
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內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了集成電路用 鋁腐蝕液的技術(shù)指標(biāo)和檢測方法。

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