本文件規(guī)定了集成電路（ＩＣ）制造設備的基本和常用術語，包括基礎術語，晶體生長加工設備、掩模制造設備、光刻與刻蝕設備、摻雜設備、薄膜淀積設備、清洗設備、封裝設備、檢測設備的術語及公用部件術語。
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