本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅單晶退火片（以下簡(jiǎn)稱退火片）的分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存、隨行文件及訂貨單內(nèi)容。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于通過(guò)退火工藝在硅單晶拋光片表面形成一定寬度潔凈區(qū)的硅片，產(chǎn)品用于技術(shù)代180nm～22nm的集成電路。