本標準規(guī)定了聲表面波器件劃片工藝的人員、環(huán)境、安全、材料、設(shè)備和儀器等一般要求，以及聲表面波器件劃片工藝的典型工藝流程、各工序技術(shù)、檢驗等詳細要求。
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