本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用于先進(jìn)集成電路光刻工藝綜合評(píng)估的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試圖形單元的形狀、一般尺寸,以及推薦的布局和設(shè)計(jì)規(guī)則,這些標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試圖形包括可供光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡用的各種圖形單元。
本標(biāo)準(zhǔn)適用集成電路的工藝、常規(guī)掩模版、光致抗蝕劑和光刻機(jī)的特征和能力作出評(píng)價(jià)及交替移相掩模版相位測(cè)量,適用于g線、i線、KrF、ArF等波長(zhǎng)的光刻設(shè)備及相應(yīng)的光刻工藝。
電業(yè)安全工作規(guī)程（發(fā)電廠和變電所電…電力生產(chǎn)企業(yè)安全設(shè)施規(guī)范手冊(cè)電力建設(shè)安全工作規(guī)程第1部分：火力…電業(yè)安全工作規(guī)程（電力線路部分）火力發(fā)電廠設(shè)計(jì)技術(shù)規(guī)程工業(yè)企業(yè)照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)【作廢】《建筑照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》條文說(shuō)明農(nóng)村安全用電規(guī)程【作廢】
