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砷化鎵表面砷鎵比的測試方法

標 準 號： SJ 20842-2002
替代情況：
發(fā)布單位： 信息產(chǎn)業(yè)部
起草單位： 中國電子科技集團公司第四十六所
發(fā)布日期： 2002-10-30
實施日期： 2003-03-01
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更新日期： 2025年04月22日
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內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了砷化鎵材料表面鎵砷比的X射線光電子能譜的試驗方法。本標準適用于監(jiān)測砷化鎵器件制造過程中各種表面處理對砷化鎵晶片表面鎵砷比的影響，也適用于晶片加工中的各種表面處理。

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