本文件給出了靜電控制參數(shù)實時監(jiān)控系統(tǒng)(以下簡稱“監(jiān)控系統(tǒng)”)的架構(gòu)和靜電控制參數(shù)類型,規(guī)定了監(jiān)控系統(tǒng)的功能要求和性能要求,描述了對應的測試方法。
本文件適用于監(jiān)控系統(tǒng)的研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)、檢驗和使用。
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