本文件規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)用電子級五(二甲氨基)鉭的技術(shù)要求、檢驗規(guī)則、包裝、標志及隨貨資料、運輸、貯存及安全信息的要求,描述了相應(yīng)的檢測方法。
本文件適用于沉積氮化鉭、氧化鉭和鉭摻雜物等鉭基薄膜的電子級五(二甲氨基)鉭。