本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了薄膜集成電路用氧化鋁陶瓷基片的要求、測(cè)試方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于薄膜集成電路用氧化鋁陶瓷基片(以下簡(jiǎn)稱“基片”)的生產(chǎn)和采購,采用薄膜工藝的片式元件用氧化鋁陶瓷基片也可參照使用。