本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了磁控濺射用磁性靶材透磁率的術(shù)語和定義、檢測設(shè)備、檢驗過程及結(jié)果計算等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于濺射薄膜用各類磁性靶材透磁率的檢驗。
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