本標準規(guī)定了藍寶石切割片、研磨片、拋光片(以下簡稱藍寶石襯底片)翹曲度的測試方法提要、干擾因素、儀器和設備、試樣、測試環(huán)境、測試程序、測試結(jié)果的計算、精密度以及試驗報告。
本標準適用于直徑50.8mm~304.8mm,厚度為不小于200μm的藍寶石襯底片翹曲度的測試。
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