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本標準規(guī)定了測試薄膜壓入硬度和彈性模量的儀器化納米壓入試驗方法。 本標準適用于附著在固體表面的薄膜。壓入方向為垂直于試樣表面方向,壓入深度范圍通常在納米量級,也可以擴展至幾微米。