本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了測試薄膜壓入硬度和彈性模量的儀器化納米壓入試驗(yàn)方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于附著在固體表面的薄膜。壓入方向?yàn)榇怪庇谠嚇颖砻娣较?壓入深度范圍通常在納米量級,也可以擴(kuò)展至幾微米。