本文件規(guī)定了監(jiān)測計劃的基本要求。這個監(jiān)測計劃依據所測量的空氣中懸浮粒子濃度或對其有影響的其他參數，監(jiān)測潔凈室或潔凈區(qū)按粒子濃度劃分的空氣潔凈度方面的性能。
本文件適用于粒徑0.1 um～5um粒子濃度的監(jiān)測。