本標準規(guī)定了真空系統(tǒng)中用于控制氣流或真空壓力的真空閥門的漏率測試方法。適用于關閉后對于示漏氣體密封漏率小于1×10-5 Pa·m3/s的真空閥門的漏率測試,也適用于閥體的漏率測試,可作為真空閥門檢驗的依據(jù)。
本標準適用于真空閥門在允許操作壓力范圍、壓差、烘烤溫度、操作溫度和壽命周期等規(guī)定技術條件下整個工作過程的漏率測試,在上述條件下閥門的測試漏率低于制造商給定的標稱漏率。
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