本標準規(guī)定了基于光學干涉顯微鏡獲取的微雙端固支梁結(jié)構(gòu)表面形貌進行殘余應(yīng)變測量的方法。
本標準適用于表面反射率不低于4%且使用光學干涉顯微鏡能夠獲取表面形貌的微雙端固支梁結(jié)構(gòu)。