本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氦質(zhì)譜真空檢漏方法實施的一般要求,三種常用的氦質(zhì)譜真空檢漏方法在應(yīng)用對象、系統(tǒng)組成、檢漏程序等方面的要求以及對檢漏文件的要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于各行業(yè)中采用氦質(zhì)譜真空檢漏方法的部件、組件、分系統(tǒng)級以及系統(tǒng)級產(chǎn)品。
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