本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用適當(dāng)?shù)膮⒖嘉镔|(zhì)對掃描電鏡（SEM）圖像的放大倍率進行校準(zhǔn)的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于對由校準(zhǔn)參考物質(zhì)上間距大小的可用范圍決定的放大倍率進行校準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)不適用于專用測長型掃描電鏡。