本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)元器件生產(chǎn)中電子級水制造用離子交換設(shè)備完好要求和檢查、評定方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子元器件，集成電路制造以及清洗工序用電子級水制造的離子交換設(shè)備
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