本文件規(guī)定了平面平晶的分類、規(guī)格、尺寸、材料、分級和技術(shù)要求,描述了相應(yīng)的試驗方法,規(guī)定了檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸及貯存。
本文件適用于以光波干涉法測量平面的平面度、直線度和量塊研合性的圓平面平晶和長平面平晶的制造。
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