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納米技術(shù) 微區(qū)表面及亞表面表征 光學(xué)暗場共焦顯微法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 44926-2024
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 西安應(yīng)用光學(xué)研究所、北京微電子技術(shù)研究所、航天科工防御技術(shù)研究試驗(yàn)中心
發(fā)布日期： 2024-12-31
實(shí)施日期： 2025-07-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2025年08月04日
內(nèi)容摘要

本文件描述了采用光學(xué)暗場共焦顯微鏡對(duì)微區(qū)表面及亞表面的表征方法。
本文件適用于固體材料。

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