本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了掃描電鏡-能譜儀化學(xué)成分定量分析相關(guān)參數(shù)的測(cè)定方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于對(duì)掃描電鏡中影響定量分析性能的相關(guān)參數(shù)和能譜儀基本參數(shù)的測(cè)定,并以元素成分定量分析結(jié)果對(duì)儀器做出綜合分析。