本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子柱電感測微儀的術(shù)語和定義、型式和基本參數(shù)、要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志與包裝等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于分度值為0.1μm、0.2μm、1μm,以電子柱(發(fā)光單元)顯示的電子柱電感測微儀。