本標準規(guī)定了離子束蝕刻機的術(shù)語、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、運輸、貯存。
本 標準適用于物理濺射腐蝕作用的通用離子束蝕刻機。其他專用離子束蝕刻機亦可參照執(zhí)行。