????? 本標(biāo)準(zhǔn)適用于制造半導(dǎo)體器件（分立器件和集成電路）的三種等直徑硅單晶切割片和雙面研磨片。用作其他器件的硅單晶切割片和研磨片，可參照本標(biāo)準(zhǔn)確定其相應(yīng)的技術(shù)參數(shù)。