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硅基MEMS制造技術(shù) 基于SOI硅片的MEMS工藝規(guī)范

標 準 號： GB/T 32814-2016
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位： 西北工業(yè)大學、中機生產(chǎn)力促進中心
發(fā)布日期： 2016-08-29
實施日期： 2017-03-01
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更新日期： 2017年04月12日
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內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了采用SOI硅片進行MEMS器件加工時應(yīng)遵循的工藝要求和質(zhì)量檢驗要求。本標準適用于硅基MEMS制造技術(shù)中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和質(zhì)量檢驗。

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