本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了碳化硅單晶拋光片的平整度,即總厚度變化(TTV)、局部厚度變化(LTV)、彎曲度(Bow)、翹曲度(Warp)的測試方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于直徑為50.8mm、76.2mm、100mm,厚度0.13mm~1mm 碳化硅單晶拋光片平整度的測試。