本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了外延釘缺陷的檢驗(yàn)方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于判斷硅外延片上是否存在高度不小于4μm的釘缺陷。如果釘缺陷比較少且彼此不相連，本標(biāo)準(zhǔn)可用于釘缺陷的計(jì)數(shù)。本標(biāo)準(zhǔn)不能測(cè)量釘缺陷的高度。