太陽(yáng)能級(jí)硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的測(cè)定二次離子質(zhì)譜法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 32281-2015

替代情況：

發(fā)布單位：中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

起草單位：江蘇協(xié)鑫硅材料科技發(fā)展有限公司、北京合能陽(yáng)光新能源技術(shù)有限公司、中鋁寧夏能源集團(tuán)有限公司

發(fā)布日期： 2015-12-10

實(shí)施日期： 2017-01-01

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更新日期： 2017年12月11日

內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了太陽(yáng)能級(jí)硅片和硅料中氧、碳、硼和磷元素體含量的二次離子質(zhì)譜（SIMS）檢測(cè)方法。?本標(biāo)準(zhǔn)適用于檢測(cè)各元素體含量不隨深度變化、且不考慮補(bǔ)償?shù)奶?yáng)能級(jí)單晶或多晶硅片或硅料中氧、碳、硼和磷元素的體含量。各元素體含量的檢測(cè)上限均為0.2%（即＜1×10??20? atoms/cm?3），檢測(cè)下限分別為氧含量≥5×10??16? atoms/cm?3、碳含量≥1×10??16? atoms/cm?3、硼含量≥1×10??14? atoms/cm?3和磷含量≥2×10??14? atoms/cm?3。四種元素體含量的測(cè)定可使用配有銫一次離子源的SIMS儀器一次完成。