、<100>和<110>晶向的硅單晶襯底上生長的2μm~120μm硅外延層厚度的測量。" />
本標準規(guī)定了利用堆垛層錯尺寸法測量硅外延層厚度的方法。
本標準適用于在<111>、<100>和<110>晶向的硅單晶襯底上生長的2μm~120μm硅外延層厚度的測量。
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