本標準規(guī)定了硅拋光回收片的要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、儲存、質量證明書和訂貨單（或合同）內容。
本標準適用于用戶提供的或來源于第三方的硅回收片（主要包括100mm、125mm、150mm和200mm單面或雙面拋光硅片、未拋光硅片或外延硅片）經單面拋光制備的硅拋光片。產品主要用于機械、爐處理、顆粒和光刻中的監(jiān)控片。