本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅外延用三氯氫硅中總碳含量的氣相色譜測(cè)定方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅外延用三氯氫硅中總碳含量的測(cè)定，測(cè)定范圍為0.00005%～0.005%。