本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氧化銦錫(簡(jiǎn)稱ITO)靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸與貯存、質(zhì)量證明書(shū)、訂貨單(或合同)內(nèi)容等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于以99.99%金屬銦、錫為原料生產(chǎn)的氧化銦錫靶材,用于制作透明導(dǎo)電膜。
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