本標準規(guī)定了采用激光法非接觸式測量方形硅晶錠尺寸的方法,包括對角線、倒角、垂直度、邊長和長度。?本標準適用于半導體及光伏領域硅單晶棒或多晶硅鑄錠切割成的方形硅晶錠尺寸的測量。
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