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確定晶片坐標系規(guī)范

標 準 號： GB/T 16596-2019
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 有色金屬技術經濟研究院、有研半導體材料有限公司、浙江海納半導體有限公司
發(fā)布日期： 2019-03-25
實施日期： 2020-02-01
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更新日期： 2019年04月22日
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內容摘要

本標準規(guī)定了使用直角坐標和極坐標建立晶片正面坐標系、背面坐標系和三維坐標系的程序。本標準適用于有圖形和無圖形的晶片坐標系的建立。該坐標系用于確定和記錄晶片上的缺陷、顆粒等測試結果的準確位置。

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