本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了濺射用靶材-背板結(jié)合質(zhì)量超聲縱波脈沖反射液浸法C掃描檢驗(yàn)技術(shù)的一般方法。內(nèi)容包括一般要求、檢驗(yàn)設(shè)備、對(duì)比試塊、檢驗(yàn)過(guò)程、缺陷評(píng)定及檢驗(yàn)報(bào)告等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于用中間層材料結(jié)合方式（如軟釬焊、硬釬焊和環(huán)氧樹(shù)脂粘接等）的濺射靶材-背板結(jié)合面的孔洞、未結(jié)合、氧化物夾雜等缺陷的檢驗(yàn)。其他用途的材料結(jié)合質(zhì)量無(wú)損檢測(cè)也可參照使用。