本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鉑靶的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及合同或訂貨單。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體器件用的各類鉑濺射靶材，其他用途的鉑靶材也可參照使用。